МЕТОДИКИ ИЗМЕРЕНИЙ
методики измерений. нанотвердомеры testurion
Измерение модуля упругости
методом силовой спектроскопии
На базе «TESTURION» разработан метод для измерения абсолютного значения модуля упругости материалов. Методика измерения заключается в том, что зондовый датчик, колеблющийся в направлении нормали к поверхности образца с амплитудой менее 10 нм и частотой ~10 кГц, вводится в контакт с поверхностью. В результате взаимодействия наконечника с материалом частота колебаний зонда возрастает по мере прижима к поверхности.
В соответствии с математическим описанием на основе модели Герца, угол наклона квадрата сдвига резонансной частоты колебаний от глубины внедрения (кривой подвода) пропорционален модулю упругости исследуемого материала.
Перед измерениями производится калибровка на стандартных образцах с известными значениями модуля упругости.
Значение модуля упругости определяется по соотношению углов наклона кривых подвода для исследуемого и стандартных образцов (Рис.). Данный метод является неразрушающим и позволяет проводить корректные измерения модуля упругости материалов в приповерхностном слое толщиной менее 100 нм. В частности, возможно измерять модуль упругости тонких пленок без привнесения влияния подложки. Сравнительные измерения, проведенные на различных материалах, подтверждают возможность корректного применения описанного метода в широком диапазоне значений модуля упругости.
Схема измерения «кривой подвода» (а); наклон результирующей кривой f характеризует модуль упругости образца (б).
НАУЧСПЕЦПРИБОР
ооо «научспецприбор»
Отечественное аналитическое приборостроение
2026 НАУЧСПЕЦПРИБОР
Все права защищены