МЕТОДИКИ ИЗМЕРЕНИЙ
методики измерений. нанотвердомеры testurion
Механическая нанолитография
Приборы серии «TESTURION» предоставляют широкие возможности для прецизионной механической обработки и нанолитографии. Использование алмазных наконечников позволяет резать практически любой из известных материалов.
Контролируя усилие прижима в процессе резания с разрешением от 10 мкН, можно устойчиво получать царапины шириной от 100 нм и глубиной в несколько нанометров (Рис.). При этом максимальная глубина царапины может достигать несколько микрометров.
За счет использования прецизионных пьезокерамических нанопозиционеров и механических линейных трансляторов точность позиционирования алмазного наконечника достигает 10 нм в поле 100 х100 мкм и около 1 мкм при позиционировании с использованием оптического микроскопа.
Результат обработки поверхности может быть проконтролирован тем же алмазным наконечником путем сканирования в режиме зондового микроскопа или с помощью цифрового оптического микроскопа.
Режим механической нанолитографии может использоваться для создания регулярных структур на поверхности (Рис. б), удаления окисных пленок, освобождения от покрытий в заданных областях (Рис. а), корректировки геометрии элементов микроэлектроники, а также микроэлектромеханических систем (МЭМС).
Удаление пленки золота на алмазной подложке (а); надпись, полученная царапанием поверхности плавленого кварца ; профиль царапин (б).
НАУЧСПЕЦПРИБОР
ооо «научспецприбор»
Отечественное аналитическое приборостроение
2026 НАУЧСПЕЦПРИБОР
Все права защищены