МЕТОДИКИ ИЗМЕРЕНИЙ
методики измерений. нанотвердомеры testurion
Измерение жёсткости микромеханических конструкций
Для контроля жесткости микроинструмента (Рисунок — а), а также балок и мембран в составе МЭМС и НЭМС на сканирующем нанотвердомере «TESTURION» используется режим измерения зависимостей нагружения – перемещения, аналогичный методу измерительного индентирования.
Реализован также режим многократного нагружения объекта индентором. В результате такого испытания возможно определить жесткость (податливость) мембраны или балки, максимальный прогиб мембраны, число циклов нагружения до разрушения.
Схема измерения свойств мембраны приведена на Рисунке — б,в.
Для точного позиционирования места нагружения в «TESTURION» применяется цифровой оптический микроскоп высокого разрешения, а также режим предварительного сканирования поверхности объекта перед измерениями.
Области применения: микроинструмент, МЭМС, НЭМС.
Измерение жесткости микросверла (а). Схема измерения свойств мембраны (б). Кривая нагружения/разгрузки (в): 1 — жесткость и прогиб мембраны; 2 — упирание мембраны в подложку.
НАУЧСПЕЦПРИБОР
ооо «научспецприбор»
Отечественное аналитическое приборостроение
2026 НАУЧСПЕЦПРИБОР.
Все права защищены